産業技術総合研究所は5日、先端半導体を試作する設備を国内の企業や大学向けに開放したと発表した。装置メーカーや材料メーカーが自社の技術を持ち寄り、先端半導体の製造工程に適合するかどうかを検証できる。同様の設備を企業などに開放するのは国内で初めての試みという。この設備で検証するのは回路の線幅が2ナノ（ナノは10億分の1）メートル以下の半導体に使われる「ゲート・オール・アラウンド（GAA）」と呼ばれ ...