半導体ウェーハ使用静電チャック（ESC）は、真空環境またはプラズマ環境に適合する超クリーンなウェーハ保持装置である。それは静電吸着の原理を利用し、超薄型ウェーハを均一にクランプする。この製品は、PVD、PECVD、ETCH、EUVL、イオン注入などの ...

smart #5 EHDは、smartと DeepRoute.ai のコラボレーションにおける最新のマイルストーンであり、ピュア・エレクトリック・プラットフォームで実証済みのテクノロジー機能をプラグイン・ハイブリッド車に拡張するものです。